Digitaler MFC / Durchflussregler für inerte oder aggressive Gase unempfindlich gegen Feuchtigkeit im Betriebsgas. Nach Ausscheiden der Feuchtigkeit in der Regel keine Beeinträchtigung. Bis 0,005 Liter Durchfluss.

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  1. Allgemeine Details

    MFC / MFM 6110 (Durchflussregler) Digital für aggressive Gase bis 0,05 ln/min

    Der MFC 6110 ist ein digitaler Mass Flow Controller für Durchflussregelung bis 0,005 ln/min. Er ist für aggressive Gase geeignet und unempfindlich bei Feuchtigkeit im Betriebsgas. Nach Ausscheiden der Feuchtigkeit besteht in der Regel keine Beeinträchtigung des Sensors oder der kalibrierten Messwerte.

    Sensorbeschreibung

    Der im Durchflussmesser verwendete thermische Strömungsmesser, eignet sich hervorragend für die Detektion von kleinster Volumenströme. Basis dieses thermischen Strömungssensors sind zwei nur wenige Quadratmikrometer große Polysilizium-Thermoelemente auf einer Siliziumnitridmembran. Zwischen den Thermoelementen ist eine Wärmequelle integriert, die das strömende Medium erwärmt und eine hochauflösende, richtungsabhängige Strömungsdetektion ermöglicht. Die aktiven Sensorschichten sind durch medienresistente Schichten vom strömenden Medium abgeschirmt.

    Allgemein

    Die Funktion des Mass Flow Controller wird von der Schwerkraft nicht beeinflusst und kann deshalb lageunabhängig betrieben werden. Die vorgegebene Richtung des Flüssigkeitsstroms muss jedoch eingehalten werden. Die Rohranschlüsse müssen frei von Verschmutzungen und Beschädigungen jeglicher Art sein, es empfiehlt sich, die Montage eines Mikrofilters vor dem Gerät. Rohrleitungsquerschnitte, Bögen oder Winkel am Ein- und Ausgang des MFC´s müssen den Durchflussmengen angepasst werden. Um Verwirbelungen zu vermeiden, müssen die Ein-und Auslaufstrecke der Länge des MFC entsprechen. Vor jedem Durchflussregler sollte ein Druckregler installiert sein, da ständige Druckschwankungen im Medium die Messergebnisse beeinträchtigen. Beachten Sie bitte diese Hinweise, da ansonsten Abweichungen in der Genauigkeit der Durchflussmessung auftreten können. Vor Inbetriebnahme ist sicherzustellen, dass die verwendeten Materialien gegen die zu regelnde Flüssigkeit resistent ist. Sensoren die für aggressive Gase geeignet sind, sind in der Regel auch unempfindlich gegen Feuchtigkeit im Gas, wenn sich diese wieder rückstandslos entfernen.

    Die Kalibrierung erfolgt bei Durchflussregler für Flüssigkeiten LMFC (Liquid Mass Flow Controller) mit der zum Einsatz kommenden Flüssigkeit oder mit H2O. Bei Durchflussregler für Gase wird mit N2 kalibriert und mit den entsprechenden Faktoren umgerechnet, optional mit dem zum Einsatz kommenden Gas. Mischgase werden ebenfalls mit den verschiedenen Umrechnungsfaktoren berechnet. Grundsätzlich erfolgt die Kalibrierung unter Berechnung von Normalbedingung Normliter pro Minute (ln/min) oder Normmilliliter pro Minute (mln/min) Norm = 1013,25 mbara / 273.15 K. Zu jedem Gerät wird ein ausführliches Protokoll geliefert. Da Durchflussmesser mechanisch bewegte Teile enthalten, ist eine jährliche Werksüberprüfung im Interesse der Betriebssicherheit und Genauigkeit notwendig. Auch bei der Anwendung von kontaminierten Medien kann es zu Verunreinigungen kommen. In diesem Fall muss das Gerät einer Reinigung und neuer Kalibrierung unterzogen werden.

  2. Technische Info
    • Druck: 3,5 bara
    • Medium inerte oder aggressive Gase
    • Schutzklasse: IP40
    • Steuerung: 0-5 Volt, 4-20mA
    • Genauigkeit: ab 1% v. E.
    • Auflösung: ab 1:100
    • Material: VA (medienführende Teile)
  3. Anfrage

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