MFC / Durchflussregler für Flüssigkeiten: Geeignet für H2O, HMDSO, TEOS, Kohlenwasserstoffe etc. bis hin zu aggressiven Flüssigkeiten bis 1g/min.

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  1. Allgemeine Details

    MFC / MFM 1510 (Durchflussregler) für Flüssigkeiten bis 1g/min.

    Der MFC 1510 eignet sich für die Messung bzw. Regelung von Flüssigkeiten bis 1g/pro Minute (60g/h). Je nach Ausführung des Durchflussmessers können aggressive bis sehr aggressive Medien zum Einsatz kommen. Typische Flüssigkeiten sind: HMDSO, TEOS, ölhaltige Luft, Öle, H2O Analysenflüssigkeiten, Kohlenwasserstoffe und ähnlich viskose Stoffe. Je nach Anwendungsumgebung kann der Mass Flow Controller bis IP 65 aufgebaut werden. Die Serie 1500 eignet sich gut für die genau dosierte Zuführung von Flüssigkeiten in Prozesse wie z.B. in Verdampfungssysteme. Alle medienführenden Teile sind aus Edelstahl, die Dichtungen standardmäßig aus FKM, können jedoch gegen andere Dichtungselemente wie NBR, PTFE, FFKM, EPDM oder Elastomer-Dichtungen getauscht werden.

    Alle MFC (Mass Flow Controller) / Durchflussregler können auch als MFM (Mass Flow Meter) / Durchflussmesser geliefert werden.

    Sensor:

    Der gesamte Medienstrom fließt über den Sensor, deshalb kann eine sehr genaue Regelung des Massflowcontroller erfolgen. Das System ist weitgehend Druck und Medientemperatur unabhängig. Bei der Messung kommt die thermische Durchflussmessung (kalorimetrischen Messmethode) zum Einsatz. Im Sensor werden thermische Strömungsmesser, dessen Basis zwei nur wenige Quadratmikrometer große Polysilizium-Thermoelemente auf einer Siliziumnitrid-Membran sind, verwendet. Die aktiven Sensorschichten sind durch medienresistente Schichten vom strömenden Medium getrennt.

    Allgemein:

    Die Funktion des Mass Flow Controller wird von der Schwerkraft nicht beeinflusst und kann deshalb lageunabhängig betrieben werden. Die vorgegebene Richtung des Flüssigkeitsstroms muss jedoch eingehalten werden. Die Rohranschlüsse müssen frei von Verschmutzungen und Beschädigungen jeglicher Art sein, es empfiehlt sich, die Montage eines Mikrofilters vor dem Gerät. Rohrleitungsquerschnitte, Bögen oder Winkel am Ein- und Ausgang des MFC´s müssen den Durchflussmengen angepasst werden. Um Verwirbelungen zu vermeiden, müssen die Ein-und Auslaufstrecke der Länge des MFC entsprechen. Vor jedem Durchflussregler sollte ein Druckregler installiert sein, da ständige Druckschwankungen im Medium die Messergebnisse beeinträchtigen. Beachten Sie bitte diese Hinweise, da ansonsten Abweichungen in der Genauigkeit der Durchflussmessung auftreten können. Vor Inbetriebnahme ist sicherzustellen, dass die verwendeten Materialien gegen die zu regelnde Flüssigkeit resistent ist. Sensoren die für aggressive Gase geeignet sind, sind in der Regel auch unempfindlich gegen Feuchtigkeit im Gas, wenn sich diese wieder rückstandslos entfernen.

    Die Kalibrierung erfolgt bei Durchflussregler für Flüssigkeiten LMFC (Liquid Mass Flow Controller) mit der zum Einsatz kommenden Flüssigkeit oder mit H2O. Bei Durchflussregler für Gase wird mit N2 kalibriert und mit den entsprechenden Faktoren umgerechnet, optional mit dem zum Einsatz kommenden Gas. Mischgase werden ebenfalls mit den verschiedenen Umrechnungsfaktoren berechnet. Grundsätzlich erfolgt die Kalibrierung unter Berechnung von Normalbedingung Normliter pro Minute (ln/min) oder Normmilliliter pro Minute (mln/min) Norm = 1013,25 mbara / 273.15 K. Zu jedem Gerät wird ein ausführliches Protokoll geliefert. Da Durchflussmesser mechanisch bewegte Teile enthalten, ist eine jährliche Werksüberprüfung im Interesse der Betriebssicherheit und Genauigkeit notwendig. Auch bei der Anwendung von kontaminierten Medien kann es zu Verunreinigungen kommen. In diesem Fall muss das Gerät einer Reinigung und neuer Kalibrierung unterzogen werden.

  2. Technische Info
    • Druck 3 bar
    • Medium Flüssigkeiten z.B. ,
    • Schutzklasse: IP40 oder IP65
    • Steuerung: 0-5 Volt, 4-20mA
    • Messgenauigkeit: 1% v. M.
    • Auflösung 1:100
    • Material: VA (medienführende Teile)

    Mögliche Medien: H2O, HMDSO, TEOS, ölhaltige Luft, Öle, Analysenflüssigkeiten, Alkohole, Kohlenwasserstoffe und ähnlich viskose Stoffe.

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